[더파워 최성민 기자] 테크로스 워터앤에너지가 초순수 생산공정 국산화를 위한 국가 프로젝트를 총괄하며 반도체 산업 인프라 경쟁력 강화에 나선다.
회사는 최근 환경산업기술원과 ‘초순수 생산공정 전 과정 국산화 기술개발’ 사업 협약을 체결했다. 이번 사업은 설계와 시공, 운영, 핵심 설비를 포함한 초순수 생산 전 과정을 국산 기술 기반으로 구축하는 것을 목표로 한다.
초순수는 반도체 생산 과정에서 웨이퍼 세정 등에 사용되는 핵심 산업용수다. 극미량의 불순물도 공정 품질에 영향을 줄 수 있어 반도체 생산 안정성과 직결되는 핵심 인프라로 꼽힌다.
정부는 이번 사업에 215억 원 규모 출연금을 투입하며 향후 5년간 사업을 추진한다. 기존 선행 사업의 국산화율 70%를 넘어 90% 이상 국산화를 달성하는 것이 목표다.
특히 이번 과제에서는 초미세 반도체 공정에 대응하기 위한 고도화된 수질 기준 확보와 상시 안정적 공급 체계 구축이 주요 과제로 제시됐다. 6개월간 무사고∙무중단 운영 실증도 함께 추진된다.
테크로스 워터앤에너지는 사업 전체를 총괄하며 수요처 맞춤형 설계를 담당한다. 국내 초순수 분야 전문가들이 참여하는 ‘K-초순수 팀 코리아’ 컨소시엄도 함께 운영한다.
회사는 그동안 반도체와 디스플레이 산업 분야에서 초순수 설비 구축 경험을 쌓아왔다. EPC 중심의 수처리 사업 역량을 바탕으로 첨단 산업 인프라 사업 확대에도 나서고 있다.
테크로스 워터앤에너지 관계자는 “국내외 프로젝트 경험을 바탕으로 안정적인 공급 체계와 기술 자립 기반을 구축하겠다”며 “국가 반도체 공급망 안정화에 기여할 수 있도록 노력하겠다”고 밝혔다.
최성민 더파워 기자 Sungmin@thepowernews.co.kr
